原子吸收分光光度計常見技術指標術語如下：
1 穩定性
常以基線穩定度來表示，基線穩定度是指儀器在正常運行中，基線的漂移與波動的程度。選用質量優良的銅空心陰極燈，在不點火不進樣的情況下，將標尺擴展開到最大，燈預熱半小時后測定。
2 波長精度
指譜線波長理論值與儀器波長試劑讀數的差值。
3 單色器的分辨率
表示儀器分開相鄰兩條譜線的能力，常常用鎳燈或錳燈來測試。有波長掃描裝置的儀器，對共振線進行自動掃描，配一臺10mV的記錄儀記錄波形。
4 靈敏度
國際純粹與應用化學聯合會規定，某種分析方法在一定條件下的靈敏度是表示被測物質或含量改變一個單位時間所引起的測量信號的變化。在原子吸收光譜法中可以理解為校正曲線的斜率。
5 檢出極限
一個有用信號能否被檢測出來，同噪聲大小有直接關系，噪聲大，表明原子吸收分光光度計儀器波動范圍大，即穩定性差。對一臺儀器穩定性好壞，可以用測定同一濃度的標準溶液所得到的標準偏差來衡量，也可以用檢出極限來表示，石墨爐法中常用絕對檢出限表示。
