原子吸收光譜分析儀的保養與維護可以從光源、原子化系統、光學系統、氣路系統等方面進行。
1、光源
空心陰極燈應在最大允許工作電流以下范圍內使用。不用時不要點燈，否則會縮短燈的使用壽命；但長期不用的元素燈則需每隔一兩個月在額定工作電流下點燃15~60min，以免性能下降。
光源調整機構的運動部件要定期加油潤滑，防止銹蝕甚至卡死，以保持運動靈活自如。
2、原子化系統
每次分析操作完畢，特別是分析過高濃度或強酸樣品后，要立即噴約數分鐘的蒸餾水，以防止霧化筒和燃燒頭被沾污或銹蝕。點火后，燃燒器的整個縫隙上方應是一片燃燒均勻呈帶狀的藍色火焰。若帶狀火焰中間出現缺口,呈鋸齒狀,說明燃燒頭縫隙上方有污物或滴液,這時需要清洗,清洗的方法是接通空氣,關閉乙炔的條件下,用濾紙插入燃燒縫隙中仔細擦試;如效果不佳可取下燃燒頭用軟毛刷刷洗;如已形成熔珠,可用細的金相砂紙或刀片輕輕磨刮以去除沉積物．應注意不能將縫隙刮毛．
霧化器就經常清洗，以避免霧化器的毛細管發生局部堵塞．若堵塞一旦發生，會造成溶液提升量下降，吸光度值減小．
若儀器暫時不用，應用硬紙片遮蓋住燃燒器縫口，以免積灰．對原子化系統的相關運動部件要進行經常潤滑，以保證升降靈活．空氣壓縮機一定要經常放水、放油，分水器要經常清洗。
３、光學系統
外光路的光學元件就經常保持干凈，一般每年至少清洗一次。如果光學元件上有灰塵沉積、可用擦鏡紙擦凈；如果光學元件上沾有油污或在測定樣品溶液時濺上污物，可用預先浸在乙醇與乙醚的混合液（１：１）中洗滌過并干燥了的紗布去擦試，然后有蒸餾水沖掉皂液，再用洗耳球吹去水珠。清潔過程中，禁用手去擦及金屬硬物或觸及鏡面。色器應始終保持干燥。
４、氣路系統
由于氣體通路采用聚乙烯塑料管，時間長了容易老化，所以要經常對氣體進行檢漏，特別是乙炔氣滲漏可能造成事故。嚴禁在乙炔氣路管道中使用紫銅、Ｈ62銅及銀制零件，并要禁油，測試高濃度銅或銀溶液時，應經常用去離子水中噴洗。當儀器測定完畢后，應先關乙炔鋼瓶輸出閥門，等燃燒器上火焰熄滅后再關儀器上的燃氣閥，最后再關空氣壓縮機，以確保安全。
